為民族工業造"芯"
開山資訊|開山國內首台套離心式雙介質氣體組合機成功進入高端市場
發布日期:2022-12-20

   youkaishanshanghaitongyongjixieyanjiuyuanzizhuyanfadelixinshishuangjiezhiqitizuheyasuojiriqianzaijiangsumouquanqiulingxiandejichengdianluzhizaoqiyeshunliwanchengtiaoshibingtourushiyong,gexiangcanshudadaoshejiyaoqiu,huodeyonghuhaoping。


   眾所周知,半導體行業八大核心材料中,電子氣體是僅次於矽的主要原材料,其在半導體晶圓製造材料價值中的占比為13.5%。電子氣體在電子產品製造工藝中廣泛應用於離子注入、刻蝕、氣相、沉積、摻雜等工藝,被稱為集成電路、液晶麵板、LED及光伏等材料的“糧食”和“源”。電子半導體器件的性能優劣與電子氣體的質量息息相關,而高純度/超高純度氮是電子氣體中極其重要的成員之一,其在惰性保護、載氣、特種氣體、管道吹掃排氣、稀釋、等(deng)離(li)子(zi)注(zhu)入(ru)等(deng)半(ban)導(dao)體(ti)生(sheng)產(chan)工(gong)藝(yi)環(huan)節(jie)中(zhong)都(dou)是(shi)不(bu)可(ke)或(huo)缺(que)的(de)原(yuan)料(liao)氣(qi)和(he)工(gong)藝(yi)氣(qi)。而(er)離(li)心(xin)式(shi)雙(shuang)介(jie)質(zhi)氣(qi)體(ti)組(zu)合(he)壓(ya)縮(suo)機(ji)組(zu)則(ze)是(shi)高(gao)純(chun)氮(dan)生(sheng)產(chan)工(gong)藝(yi)中(zhong)的(de)核(he)心(xin)裝(zhuang)備(bei)。長(chang)期(qi)以(yi)來(lai)其(qi)該(gai)類(lei)型(xing)壓(ya)縮(suo)機(ji)市(shi)場(chang)一(yi)直(zhi)由(you)美(mei)國(guo)企(qi)業(ye)所(suo)壟(long)斷(duan)。


   本次成功投運的機組是開山製造、完全自主知識產權的國產首台套該類型壓縮機,其使用於一世界500qiangguojizhimingqitigongsidezhidanxitongzhizhong,zheyeshizhejiaqiyeshouciyuzhongguoyasuojichangshangjinxinghezuo。bencitouyunchenggong,jidadetishenglegaigongsigaochundanzhibeixitongdeshichangjingzhengli。zheshishuangfangsiniangongtongnulidejieguo。


   與此同時,兩套運用於國產高純氮製備係統的該類型壓縮機調試工作也已收尾,各項參數達到設計需求,甚至部分參數超越了設計需求.

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   過去二十年裏,開山持續在核心技術上進行大強度投入,逐步在螺杆、透平、往複等各類型壓縮機、膨脹機、真空泵等諸多領域構建起一定技術優勢。在目前“國產化”需求日益高漲的背景之下,這種技術優勢使得我們的中國用戶不僅不會因“國產化”去犧牲所需設備的品質,反而“國產化”後hou獲huo得de了le更geng可ke靠kao的de產chan品pin質zhi量liang和he更geng低di的de能neng源yuan消xiao耗hao。而er對dui於yu我wo們men的de國guo際ji用yong戶hu則ze是shi發fa現xian以yi開kai山shan為wei代dai表biao的de中zhong國guo裝zhuang備bei為wei他ta們men帶dai來lai了le更geng大da的de獲huo益yi。本ben次ci離li心xin式shi雙shuang介jie質zhi氣qi體ti組zu合he壓ya縮suo機ji的de投tou運yun成cheng功gong隻zhi是shi前qian述shu文wen字zi一yi個ge小xiao小xiao的de例li證zheng吧ba。

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